上海芯上微装步进光刻机交付里程碑:半年突破500台彰显国产高端装备实力
2025年8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”)举办第500台步进光刻机交付仪式,标志着这家成立仅半年的企业在高端半导体装备领域实现跨越式发展,为我国半导体产业链自主化进程注入强劲动力123。
核心产品技术优势与市场地位
技术特点:芯上微装的先进封装光刻机具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场三大核心优势,同时拥有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户工艺需求灵活配置,满足Flip-chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D等先进封装技术要求135。
市场表现:凭借技术竞争力,该产品已占据全球35%、国内90%的市场份额,成为先进封装光刻机领域的国产领军者27。
第500台设备交付细节与战略意义
交付对象:此次交付的设备将服务于盛合晶微半导体(江阴)有限公司,该企业是全球领先的晶圆级先进封测企业,专注于GPU、CPU、AI芯片等高性能芯片的异构集成,通过超越摩尔定律的技术路径提升芯片算力、带宽与功耗表现145。
产业价值:设备落地后将直接支持盛合晶微在高端芯片封测领域的产能扩张,助力我国在人工智能、数据中心等算力密集型产业的核心竞争力提升37。
企业背景与研发实力
成立与定位:芯上微装成立于2025年2月,专注于高端半导体装备的研发、生产与服务,业务覆盖IC前道制造、晶圆级/板级先进封装、化合物半导体及新型显示等领域